氦氖激光器是常用的一種,通常在可見光頻段(6328Å)工作,其他還有1.1523μm及3.3913μm,但不常用。功率一般約數毫瓦,連續發光。因為制造方便、較便宜、可靠,所以使用較多。由于單色性好,相干長度可達數十米以致數百米。
氦氖激光器是以中性原子氣體氦和氖作為工作物質的氣體激光器。以連續激勵方式輸出連續激光。在可見光和近紅外區主要有0.6328微米、3.39微米和1.15微米三條譜線,其中0.6328微米的紅光常用。 氦氖激光器的輸出功率一般為幾毫瓦到幾百毫瓦。
氦氖激光器結構一般有三種形式:
內腔式,內腔式激光器使用方便,無需調整諧振腔,反射鏡和放電管之間沒有窗片相隔,光能損失少,但因放電使管受熱變形導致激光輸出下降,穩定性變差,且管長度越長,穩定性越差。
外腔式,外腔式激光器放電管兩端固定兩塊呈一**傾角的窗片。 反射鏡安裝在窗片外,可進行調整以適應多種實驗的要求。腔體受溫度影響較小,輸出的激光為線偏振光。缺點是使用不方便,窗片與軸線的夾角不易調準,影響輸出功率。
半內腔(或半外腔)式,半外腔式激光器綜合上述兩種結構的優點,是一種比較理想的激光器。氦氖激光器的輸出功率和激光頻率的穩定性容易控制,光束的單色性、相干性和方向性均好,器件壽命長,結構簡單,價格較低,在工農業生產、科研和教學等方面的應用日趨廣泛,尤其在**計量、準直導向、流體的流速流量測量和全息照相等方面發揮著重要作用。